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中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準

更新時間:2015-09-15      點擊次數:2873

中國國家電子級超純水GB/TII446.11997標準



 指標\級別

 EW

 EW

EW 

EW-

 電阻率 MΩ,cm(25)

18以上,(95%時間)不低于17

15,(95%時間)不低于13

 12.0   

0.5   

 全硅,zui大值,μg/L

2

10

50

1000

 1μm微粒數,zui大值,個/mL

0.1

5

10

500

 細菌個數,zui大值,個/mL

0.01

0.1

10

100

 銅,zui大值,μg/L

0.2

1

2

500

 鋅,zui大值,μg/L

0.2

1

5

500

 鎳,zui大值,μg/L

0.1

1

2

500

 鈉,zui大值,μg/L

0.5

2

5

1000

 鉀,zui大值,μg/L

0.5

2

5

500

 氯,zui大值,μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根,zui大值,μg/L

1

1

5

500

 磷酸根,zui大值,μg/L

1

1

5

500

 硫酸根,zui大值,μg/L

1

1

5

500

 總有機酸,zui大值,μg/L

20

100

200

1000


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